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使用金像測量顯微鏡有哪些方法呢?
更新時間:2017-07-21 點擊次數(shù):1989
金像測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作密測量。別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。那么使用金像測量顯微鏡有哪些方法呢?
1.使用金像測量顯微鏡
影像法是利用顯微鏡中間的十字線標(biāo)記,對影像進行瞄準(zhǔn)定位的測量方法。測量時,通過十字線標(biāo)記瞄準(zhǔn)測量物體的影像邊緣,并在讀數(shù)顯鏡上讀出數(shù)值,然后移動工作臺以同條刻線瞄準(zhǔn)測量物體的另邊,再作二次讀數(shù)。兩次讀數(shù)的差,是被測量物體的測量值。
2.使用顯微鏡的軸切法
軸切法是利用中央顯微鏡的標(biāo)記對通過測件軸心線并利用測量刀上的刻線進行瞄準(zhǔn)定位的自動化測量系統(tǒng)方法。其表面有刻線,刻線刃口的尺寸為0.3和0.9毫米兩種,測量時,把測量刀放在測量刀墊板上,刻線面通過測件的軸線,并使測刀的刃口和被測面緊緊接觸,用相應(yīng)的米字線去瞄準(zhǔn),測量兩把測刀刻線間的距離,間接測得被測件的測量值。為了避免測量中的計算,在中間垂直米字線的兩側(cè)刻有兩組共四條對稱分布的平行線,每組刻線對刻線的距離分別為0.9和2.7毫米,它正是測刀的刃口到刻線間的距離0.3和0.9毫米的3倍。這樣用3倍物鏡瞄準(zhǔn)時,分劃板上的0.9和2.7毫米刻線正壓住測刀上的0.3和0.9毫米刻線,這時測刀上的刃口正被米字線的中間刻線所瞄準(zhǔn)。
3.使用金像測量顯微鏡顯微鏡接觸法
接觸法是利用顯微鏡的標(biāo)記對和緊靠測件測量點、線、面。測量時將光學(xué)測孔器的測頭緊靠件(內(nèi)、外)表面。當(dāng)測量孔徑時,先使測頭與測件內(nèi)孔接觸,取得大弦長后,使米字線中間刻線被光學(xué)測孔器的雙套線套在中間,并在讀數(shù)顯微鏡讀取數(shù);然后改變測量方向,使測頭在另側(cè)與測件接觸,同樣使米字線分劃板的中間刻線仍被光學(xué)測孔器的雙套線套在中間,在讀數(shù)顯微鏡上讀取另數(shù)。兩次讀數(shù)的差,再加上測頭直徑的實際值,即為測件的內(nèi)尺寸,如減去測頭直徑的實際值,即為測件的外尺寸。 

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